干涉仪（Interferometer）是利用光的干涉现象来探测光学元件的光学性质和精确测量物理量的主要仪器之一。其基本原理是将两束光束并行地照射到待测物体表面，然后将它们重新合成一束光。如果光路相等，则两束光将产生相长干涉；而如果其中一条光路发生了一定的光程差，即光程可以表达成一个整数倍的波长值，则将产生相消干涉。利用这些干涉现象，可以通过干涉图像分析物体的精确形态、尺寸、表面质量及材料的光学参数等各种信息。
干涉仪能够实现的精度非常高，通常在几纳米甚至亚纳米级别，其工作原理涉及到光的相位、干涉条纹和光路差等相关概念。
干涉仪的工作原理主要可以分为两种基本类型：横向干涉仪和纵向干涉仪。
横向干涉仪：也称为微观干涉仪，是利用可见光（或者红外光）在待测物体表面产生的光学干涉，通过移动干涉仪的工作头与样品的表面相接触，产生干涉图像后，利用图像分析系统测量样品表面的形状、高度差异、薄膜结构的厚度等信息。横向干涉仪的优点在于它能够通过直接非接触地测量，可以避免对待测物品的损伤，且可以在实时检测状态下进行测量。
纵向干涉仪：也称为拉曼干涉仪，主要用于分析物体的物理/化学性质，例如材料的表面化学组成、分子结构、型号识别等。其工作原理是利用激光或可见光对物质的物理/化学反应进行促进和激发，通过测量光谱图来检测样品的不同特性。
总之，干涉仪的工作原理在物理学和光学研究中扮演着至关重要的角色，其在各种行业中的应用也非常广泛。
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